该仪器是以高灵敏度XPS为核心、配备多种扩展技术的多功能表面分析平台，可实现对固体材料表面（1~10 nm）的元素、化学态、电子结构等行为的全面表征。1、可进行全元素（除H、He）定性与定量，检测限~0.1at%；精确测量化学位移，鉴别价态与配位环境。2、UPS：能量分辨率≤100meV，用于价带、功函数及HOMO/LUMO能级测定。3、REELS：测量禁带宽度，并可间接检出H元素分布。4、ISS：对最表层单原子层敏感，提供表面原子覆盖度及层位信息，与XPS互补。5、XPS成像：获取微区化学态分布图。6、适用于无机/金属材料的逐层溅射。7、准原位热催化：连接高温反应池（可通气/控温），样品经气氛处理后可真空转移至分析室，锁定催化剂表面真实活性物种。8、电池充放电测试：配备电化学接口，可在设定充放电循环后追踪电池表面化学态变化。

XPS能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半高宽优于0.45 eV
XPS灵敏度：计数率强度≥1.8 Mcps（分辨率0.60 eV时）
成像空间分辨率：≤1 µm（平行成像），部分配置≤3 µm
X射线源：微聚焦单色化Al Kα（1486.6 eV），可选Al/Ag双阳极，束斑10-900 µm连续可调
分析室真空度：优于5×10⁻¹⁰ mbar
离子源：单原子模式500 eV-4 keV，团簇模式2 keV-8 keV可调
UPS能量分辨率：Ag费米边≤100 meV
温控范围：100 K-1000 K（冷热台）