Thermo Fisher ESCALAB QXi是一款高灵敏度的原位X射线光电子能谱仪。它结合了高性能的XPS光谱分析与微区成像功能，能够对材料的表面化学态和元素分布进行精准表征。其核心特色在于强大的原位分析能力，支持在变温、光照等条件下模拟真实环境进行动态测试，并可连接手套箱实现空气敏感样品的无损传递。该仪器广泛应用于材料科学、催化及半导体等领域，用于解决表面成分分析、界面结构研究等关键问题。

XPS能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半高宽优于0.45 eV
XPS灵敏度：计数率强度≥1.8 Mcps（分辨率0.60 eV时）
成像空间分辨率：≤1 µm（平行成像），部分配置≤3 µm
X射线源：微聚焦单色化Al Kα（1486.6 eV），可选Al/Ag双阳极，束斑10-900 µm连续可调
分析室真空度：优于5×10⁻¹⁰ mbar
离子源：单原子模式500 eV-4 keV，团簇模式2 keV-8 keV可调
UPS能量分辨率：Ag费米边≤100 meV
温控范围：100 K-1000 K（冷热台）