1.仪器名称、型号：手套箱式百克级粉末原子层沉积设备（GM-100）
3.仪器功能介绍：
实现高精度、高均匀性的纳米薄膜沉积，包覆均一性可控制在 3% 以内可用于沉积多种材料：如氧化物、氯化物等纳米薄膜。
4.仪器主要参数：（1）样品处理能力：最大装载量：100克粉末，样品桶容积约 0.33L，最大装料容积 0.13L
（2）反应腔温度范围：室温 (RT) - 300°C
（3）前驱体系统：前驱体加热温度：室温 (RT) - 200°C
5.仪器放置地点：赛罕校区 学正楼104
6.负责老师姓名：吴倩；办公室：学正楼314；邮箱：870906308@qq.com
