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场发射扫描电子显微镜

发布日期:2026-02-28 浏览量:
1.仪器名称、型号:场发射扫描电子显微镜(蔡司Gemini 560)
2.仪器照片:
3.仪器功能介绍:

蔡司Gemini 560场发射扫描电子显微镜利用高能电子束与样品表面相互作用产生的信号进行成像与分析。

4.仪器主要参数:
加速电压范围:20 V–30 kV
分辨率:
15 kV时:0.5 nm(STEM模式)
1 kV时:0.8 nm(SE2探测器)
放大倍率:1×–2,000,000×
X/Y:130 mm
Z:50 mm
倾斜:-4°~70°
旋转:360°(连续)
探测器配置:
二次电子探测器(SE2、Inlens)
背散射电子探测器(BSD)
能量选择背散射电子探测器(ESB)
STEM探测器
能谱仪(EDS):牛津AZtecLive UltimMax
5.仪器放置地点:玉泉校区 科创楼负一楼
6.负责老师姓名:赵玉娟,高波;办公室:学正楼211,314;邮箱:yjzhao@imu.edu.cn,gb426426@163.com

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