1.仪器名称、型号:等离子清洗仪(Fischione 1070)
3.仪器功能介绍:
等离子清洗仪是一款专为电镜样品前处理设计的精密等离子清洗仪。其核心优势在于其无溅射的“下游式”等离子技术,能在无损样品的前提下,高效去除表面碳氢污染物。
4.仪器主要参数:等离子技术:电感耦合,下游式设计
射频频率:13.56 MHz
功率:40 W(连续可调,建议不超过 40W)
等离子能量:< 12 eV,属低能量范围
样品腔室:石英材质,直径 3.5 英寸(约 8.9 cm)
真空系统:无油真空系统(涡轮分子泵 + 隔膜泵)
5.仪器放置地点:南校区科创楼负一楼B08
6.负责老师姓名:陶艺;办公室:南校区科创楼514;邮箱:904234102@qq.com