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高真空离子溅射镀膜仪

发布日期:2026-07-10 浏览量:
1.仪器名称、型号:高真空离子溅射镀膜仪(Leica EM ACE 600)
2.仪器照片:
3.仪器功能介绍:

徕卡 EM ACE 600 为电镜专用全自动高真空镀膜设备,采用磁控溅射 碳蒸发复合工艺。可对绝缘样品镀超薄金 / 铂导电层,消除 SEM 荷电;也可蒸镀碳膜用于 TEM、EDS 元素分析。配备晶振精准控膜厚,样品台可旋转倾斜,镀膜均匀;全流程自动控制,适配生物、高分子、陶瓷、电池、矿物等各类样品电镜前处理。

4.仪器主要参数:
原理:磁控离子溅射、碳热蒸发
工作气体:高纯氩气
极限真空:≤2×10⁻⁶ mbar
膜厚控制精度:0.1nm
样品台:可旋转、0~60°倾斜
双镀膜工位,触摸屏全自动操作
5.仪器放置地点:南校区科创楼负一楼B08
6.负责老师姓名:高波;办公室:南校区科创楼514;邮箱:gb426426@163.com
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